1.總結了微機械懸臂梁的靜電、壓電、熱、電磁等驅動技術,推導了計及邊緣效應的梳狀靜電驅動器靜電力公式。
2.總結了微機械懸臂梁的靜電、壓電、熱、電磁等驅動技術,推導了計及邊緣效應的梳狀靜電驅動器靜電力公式。
3.他們驚訝地發現,懸臂彎曲的角度和液體的粘稠度具有線性關系,而懸臂的彎曲度可以通過電子設備讀出。
4., 總結了微機械懸臂梁的靜電、壓電、熱、電磁等驅動技術,推導了計及邊緣效應的梳狀靜電驅動器靜電力公式。